Электронное материаловедение - Палатник Л. С., Сорокин В. К. - Материаловедение в микроэлектронике [1977, DjVu, RUS]

Материаловедение в микроэлектронике
 
 
Год выпуска: 1977
Авторы: Палатник Л. С., Сорокин В. К.
Жанр: микроэлектроника
Издательство: Энергия
Серия: Электронное материаловедение
Формат: DjVu
Качество: Отсканированные страницы + OCR
Количество страниц: 142 (в книге — 280)
Язык: русский
Описание:
В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии в приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и
эпитаксиальных пленок кремния.
Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов. 
 Все наши сетования по поводу того, чего мы лишены, проистекают от недостатка благодарности за то, что мы имеем.         
Даниэль Дефо