Электронное материаловедение - Корзо В.Ф., Черняев В.Н. - Диэлектрические пленки в микроэлектронике [1977, DjVu, RUS]

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение............... 3
Глава первая. Технологические особенности получения диэлектрических пленок. . . . . . . . . . 8
1-1. Перспективные технологические методы . . . . . 8
1-2 Влияние технологических факторов на стабильность диэлектрика в полевых приборах . . . . . . . . 54
1-3 Влияние технологических факторов на электрофизические характеристики полевых структур . . . . . . . 69
1-4 Влияние поверхностных состояний на процесс ускоренного старения диэлектрика в полевых приборах . . . 75
Глава вторая. Полевая и токовая нестабильность диэлектриков . . . . . . . . . . . . . . 88
2-1. Полевая миграция примесей в диэлектрике . . . . 88
2-2. Перенос заряда в пленочном диэлектрике . . . . 95
2-3. Механизмы инжекции в МНОП-структурах . . . . 104
2-4. Влияние механических напряжений . . . . . . . 109
2-5. Влияние дефектов структуры и примесей . . . . . 115
2-6. Влияние метода легирования диэлектрика . . . . . 125
2-7. Предпробойная проводимость и эффект переключения . 132
2-8. Примесно-стимулированный пробой . . . . . . . 139
Глава третья. Прыжковая проводимость и частотные свойства диэлектриков . . . . . . . . . . 142
3-1. Основные представления . . . . . . . . . . 142
3-2. Частотная зависимость прыжковой проводимости . . . 144
3-3. Зависимость от поля и температуры на постоянном токе 157
3-4. Прыжковая проводимость в сильном переменном поле 165
3-5. Гибридные модели прыжковой проводимости . . . . 170
3-6. Методика измерения проводимости на переменном токе 177
3-7. Частотные свойства диэлектрических пленок . . . . 181
Глава четвертая. Явления пробоя в тонких некристаллических диэлектриках . . . . . . . . . . 196
4-1. Основные представления . . . . . . . . . . 196
4-2. Тепловой пробой. . . . . . . . . . . . 203
4-3. Электрический пробой несовершенных кристаллических диэлектриков . . . . . . . . . . . . 209
4-4. Пробой пленок аморфных диэлектриков . . . . . 225
4-5. Влияние степени структурной разупорядоченности диэлектрика . . . . . . . . . . . . . 234
4-6. Экспериментальные данные . . . . . . . . . 236
Глава пятая. Эксплуатационные характеристики диэлектриков в приборах . . . . . `. . . . . . 257
5-1. Приборы высокотемпературной микроэлектроники . . . 257
5-2. Поверхностная проводимость диэлектрика в МДМ- и МДП-приборах . . . . . . . . . . . . 271
5-3. Роль поверхностных состояний и ловушек в диэлектрике 288
5-4. Радиационная стойкость пленочных диэлектриков . . . 296
5-5. Диэлектрики в приборах с зарядовой связью . . . . 306
5-6. Полевые детекторы ядерного излучения . . . . . 310
5-7. Полевые транзистор-переключатели . . . . . . . 315
5-8. Приборы с лавинной инжекцией в диэлектрик . . . 326
5-9. Прочие полевые приборы . . . . . . . . . . 330
Заключение . . . . . . . . . . . . . . 342
Список литературы . . . . . . . . . . . . 344