Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. - Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.) [1995, DjVu, RUS]

Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.)
Год: 1995
Автор: Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д.
Жанр: Электроника
Издательство: МИСИС
ISBN: 5-87623-004-9
Язык: Русский
Формат: DjVu
Качество: Отсканированные страницы + слой распознанного текста
Количество страниц: 493
Описание: Представлены общие положения термодинамики необратимых процессов; закономерности диффузии и термокинетики в неподвижной и движущейся средах, макрокинетики гетерогенных процессов; математическое описание двухфазных равновесий; Р—Т-х диаграммы состояния, их проекции и сечения. Рассмотрены материальный баланс, термодинамика и кинетика широко используемых процессов получения материалов из паровой, парогазовой и жидкой фаз. На атомно-молекулярном уровне описана кинетика процессов получения эпитаксиальных слоев, пленок и монокристаллов. Впервые изложены методы нетермической активации и плазмохимические процессы, причины возникновения дефектов при ионном воздействии на материалы.
Для студентов вузов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» и специальности «Материалы и компоненты твердотельной электроники».